掃描電鏡能譜一體機是一種將掃描電子顯微鏡和能譜分析儀集成在一起的設(shè)備，能夠同時實現(xiàn)高分辨率成像和元素成分分析。這種一體機在材料科學(xué)、地質(zhì)學(xué)、生物學(xué)、電子工業(yè)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，為用戶提供微觀結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分分析能力。

NANOS 分析型臺式掃描電子顯微鏡探測器

NANOS標(biāo)配二次電子探測器（SED）和背散射電子探測器（BSD）。BSD具有四分割分別成像功能，通過使用不同區(qū)域信號的組合，能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的成分或形貌細(xì)節(jié)獨立成像，以及通過從多個方向突出顯示表面而具有“投影成像效果"的圖像。SED則負(fù)責(zé)收集從樣品表面發(fā)射的電子，提供清晰且高分辨率的表面敏感成像。SED生成的圖像能夠傳達(dá)表面形貌信息，由于束斑與樣品相互作用體積較小，通常具有更高的分辨率。

元素分析

NANOS配備了一體式集成硅漂移能量色散X射線探測器（EDS）。通過用戶界面，用戶可以選擇EDX點分析或?qū)崟r元素面掃描。

優(yōu)中心樣品臺

NANOS是臺式掃描電鏡標(biāo)配優(yōu)中心設(shè)計樣品臺，能夠通過用戶控制界面實現(xiàn)電動XY軸樣品臺移動，在SEM成像模式下可采用優(yōu)中心設(shè)計樣品臺傾轉(zhuǎn)實現(xiàn)樣品傾斜觀察，且樣品始終保持聚焦?fàn)顟B(tài)，無需重新對焦，用戶界面實時顯示精確樣品臺傾斜角度，最大傾斜角度為55°。

導(dǎo)航相機

NANOS在進樣時，標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航相機會自動對樣品進行拍照實現(xiàn)樣品精準(zhǔn)導(dǎo)航。即便在高倍下，用戶可以輕松確定樣品位置。

低真空成像

NANOS標(biāo)配低真空成像功能，低真空成像模式能夠有效減少或消除樣品荷電對成像的影響。當(dāng)在高真空模式下觀察不導(dǎo)電的樣品時，電子積聚在樣品表面，會導(dǎo)致嚴(yán)重荷電現(xiàn)象，影響樣品觀察。NANOS 配備低真空模式以解決此問題。只需點擊鼠標(biāo)，即可輕松從高真空切換到低真空。

用戶操作界面

NANOS軟件界面始終將SEM圖像放在屏幕的中心，通過直觀的軟件界面進行簡單設(shè)置，即可完成樣品拍攝。該軟件為僅需快速簡單SEM成像的人提供簡易模式，同時也為深入進行樣品分析需求提供高級模式。用戶可以通過無線鼠標(biāo)和鍵盤控制NANOS，并可以通過iPad實現(xiàn)設(shè)備遠(yuǎn)程操控。導(dǎo)航位置光標(biāo)始終處于激活狀態(tài)，用戶能夠清楚知道拍攝位置以及方便切換其他拍攝位置。

圖1 – 低真空模式圖像：風(fēng)干的未鍍膜角堇花瓣

圖2 – SE/BSE混合成像模式，可任意調(diào)節(jié)和顯示SE和BSE混合成像效果

圖3 – 空心針尖圖像，傾斜角度為-37°